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薄膜干涉检查平面原理物理讲解

薄膜干涉检查平面，利用的是空气薄膜的薄膜干涉现象，标准样板和被检测工件之间夹着一层很薄的空气膜，同一束光在空气膜的上表面和下表面分浏览全文>>

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