薄膜干涉检查平面，利用的是空气薄膜的薄膜干涉现象，标准样板和被检测工件之间夹着一层很薄的空气膜，同一束光在空气膜的上表面和下表面分别反射，两束反射光相遇之后发生干涉，形成明暗相间的干涉条纹。如果工件表面是平整的，空气膜厚度相同的位置就处在一条直线上，干涉条纹就是平行整齐的直条纹。一旦工件表面有凸起或者凹陷，对应位置的空气膜厚度就会提前或者延后变化，条纹就会发生弯曲，根据条纹弯曲的方向，就能判断工件哪里不平，凸起还是凹陷。这个方法精度很高，可以检测非常微小的凹凸，普通肉眼很难直接看出来的缺陷，靠干涉条纹就能发现。
装置组成
1 标准平面样板，一块加工到极高精度的透明平面玻璃。
2 待测工件，需要检测平整度的平面。
3 两者一端互相接触，另一端垫薄片，中间形成楔形的空气薄膜。
4 单色光源，一般用单色平行光照射，方便观察稳定干涉条纹。
干涉形成过程
光线垂直向下照射，一部分光在样板的下表面也就是空气膜上表面直接反射。另一部分光穿过空气膜，在待测工件的上表面也就是空气膜下表面反射回来。这两束反射光频率相同，满足干涉条件，会叠加在一起。空气膜厚度差刚好等于半个波长的时候，出现暗纹，厚度差是整数倍半个波长，出现亮纹。厚度一样的位置，条纹明暗一致。
条纹判断凹凸的规律
正常平整平面，条纹是一组互相平行的直线。
条纹向空气膜薄的一侧弯曲，说明这个位置空气膜厚度和远处薄处一样，工件这里向下凹。
条纹向空气膜厚的一侧弯曲，说明这个位置空气膜厚度和远处厚处一样，工件这里向上凸起。
简单记，凹向薄弯，凸向厚弯。
操作判断步骤
1 将标准样板轻放在待测平面上，一端垫薄纸片，形成楔形空气层。
2 用单色光垂直照射，从上方观察干涉条纹。
3 观察条纹形状，全部平直代表平面平整。
4 找到弯曲的条纹，对比楔形薄端和厚端，判断缺陷位置和类型。
5 根据弯曲程度，还能粗略估算凹凸的高度，精度可以达到光波波长级别。
容易混淆的知识点
这里的薄膜不是固体薄膜，是样板和工件中间的空气层，空气就是薄膜介质。
不要和肥皂膜薄膜干涉弄混，肥皂膜是液体薄膜，这个检测用的是空气薄膜，原理同为薄膜干涉。
白光照射会出现彩色条纹，不方便精准判断，所以检测大多用单色光，明暗条纹边界清晰。
【常见问题】
问题 1，薄膜干涉检查平面为什么要用单色光
回答 1，薄膜干涉检查平面使用单色光，得到明暗清晰的单色条纹，白光会发生色散变成彩色条纹，边界模糊，不容易判断条纹的弯曲位置，影响检测精度。
问题 2，薄膜干涉检查平面条纹弯曲就一定不平吗
回答 2，薄膜干涉检查平面正常情况下条纹平直，只要条纹发生弯曲，就代表对应位置空气膜厚度异常，也就是待测平面存在凸起或者凹陷。
问题 3，薄膜干涉检查平面属于增透膜原理吗
回答 3，薄膜干涉检查平面和增透膜虽然都属于薄膜干涉，但是用途不一样，这个是利用反射光干涉看条纹，增透膜是利用干涉减弱反射光，原理相同作用不同。
【免责申明】
以上薄膜干涉检查平面原理为中学物理科普参考，定量计算和精密检测还有更复杂的光学修正，仅供学习理解。